微电子半导体行业使用的材料Wafer,存放的时候需要防止其氧化变质,故需要放在氮气柜内保存。普通的直冲型(不锈钢)氮气柜,由于没有氮气控制系统及柜内环境的检测系统,氮气处于一直消耗的状态,使用成本非常高。三清仪器的节约型氮气柜,相比普通氮气柜可节约80%的氮气消耗量,也可以在原有的普通(不锈钢)氮气柜上升级改造氮气节约系统。

战狼机器人 节约型氮气柜控制系统可检测柜内的湿度环境或者氧含量值,通过精密传感器采集的数据反馈到微电脑系统,由微电脑系统控制氮气的供应或停止,实现氮气柜的氮气消耗闭环控制。三清仪器(不锈钢)氮气柜自带氮气节约系统,在非三清仪器的氮气柜上,也可以加装氮气控制系统,实现节约氮气的目的。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜