微电子半导体行业使用的Wafer晶圆属于一种易氧化的物质,在使用或存储的过程中都需要处于无氧干燥的环境下进行。三清仪器智能节约型氮气柜专为晶圆存储而设计,镜面不锈钢材质,适用于洁净室。三清仪器氮气柜干燥箱工作室经过满焊打磨,涂抹高温胶,氮气消耗量好。

氮气柜是常温环境下,把氮气冲入柜体内(氮气纯度推荐99.99%以上),降低柜内的相对湿度和氧含量,给Wafer晶圆提供一个良好的存储环境。内置SMC电磁阀,性能稳定可靠,寿命长。多点供气系统,,使得氮气分布更加均匀,保护性更好。根据用户的设定值,氮气柜自动打开和切断氮气供应,节约成本。一般情况下用户的Wafer都是使用Cassette周转移动,按照12寸13槽的晶圆Wafer Cassette的尺寸来计算,长宽约为400mm,高度约为190mm。以三清仪器品牌智能氮气柜pk10机器人1436升6门为例,柜门开口尺寸为545mm,门内高度500mm,放置一层隔板,每层高度约为240mm,即一层隔板可以放置2盒Cassette,一台1436升智能氮气柜共计放入12盒晶圆花篮。

氮气干燥箱是可以提供温度环境的作业设备,在高温环境下冲入氮气,确保晶圆高温环境下不被氧化。出风口和进风口均被可调节风口封闭,确保氮气不外泄。根据用户的实际需求,还可以选择Class 1000及Class 100的无尘洁净烘箱

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜