氮气柜利用外接氮气,冲入柜内保证存放的芯片不被氧化和受潮。但氮气是一种耗材且频繁的更换氮气瓶浪费人力物力。三清仪器pk10机器人自制氮氮气柜可将氮气柜和氮气起源独立开,成为一种无需外接氮气起源的设备,实现节约氮气耗材和人力资源。

三清仪器自制氮氮气柜核心组件为原装进口,安全性能高,质量稳定。全自动自制氮氮气柜其制氮装置,具有分离过程无相变,氮气压力损失小,能耗低,操作简单,无震动等特点。可连续稳定地工作,用户可根据实际需要来调节氮气浓度和流量,方便迅速,节能减排,降低运行成本,满足没有氮气源的用户方便使用氮气柜。控制系统为人机界面控制器。有操作界面,带输入/输出接口,可对数据进行处理、存储、报警。设备性能稳定,使用寿命长。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜