氮气柜pk10机器人是利用高纯度氮气来保护易氧化样品,防止其氧化。如半导体行业使用的Wafer晶圆就需要放置在氮气柜中存储,为了防止晶圆被环境污染,需要在洁净的无尘室内存储和操作,这就需要搭配使用SUS304双镜面不锈钢材质氮气柜。

三清仪器不锈钢氮气柜使用优质SUS304双镜面工艺不锈钢,自身不产尘,洁净等级高。使用进口氮气控制模组,可根据用户自主设置的湿度值来自动打开和切断氮气供应,节约氮气的消耗,减低成本。氮气微循环系统可让氮气柜内氮气分布均匀,减压气流极小的冲击力不会破坏或移动样品。不锈钢氮气柜内置的隔板可自由上下移动,方便放置不同尺寸的样品。也可以按照客户的需求订制,如放置12寸CASSETE,可选择12盒,20盒或其他数量的。

三清仪器不锈钢氮气柜推荐使用99.99%纯度以上的氮气,进气压力推荐设置为0.2 – 0.4MPA。可搭配声光报警系统(可延时),USB温湿度信息传输系统,RS485通信接口。可实现显示误差自我调节功能等。更能为了防止断电,停电氮气会切断不能更好的保护样品,三清仪器不锈钢氮气柜可实现断电后自动打开氮气供应功能,更好的保护样品。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜